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专利名称：一种在高低温环境下检测元件参数的装置及其使用
方法
专利类型：发明专利发明人：汪金文,王锦,汪明炉申请号：CN202010770717.X申请日：20200804公开号：CN1116830A公开日：20201106
摘要：本发明公开的属于不同温度下元件参数检测技术领域，具体为一种在高低温环境下检测元件参数的装置及其使用方法，包括温控探针台本体、检测系统、数据采集系统、循环冷却系统、供气系统/真空系统、液氮罐和温度控制系统；该在高低温环境下检测元件参数的装置的使用方法具体如下：打开盖板，将被测元件放置在载样台上表面，调整探针组件，使探针组件压在被测元件上表面，调整好温度传感器的位置并压紧，安装盖板。载样台能够对被测元件升温和降温，为被测元件提供各一个变化的温度场，提升温控探针台本体的检测效率，温控探针台本体可以与多种测试仪器连用，满足材料测试的不同测试条件，具有节能、多功能、微型化、快速升降温等优点。
申请人：锦文测控科技(苏州)有限公司
地址：215000 江苏省苏州市高新区金山路10号1幢109-17室
国籍：CN
代理机构：苏州国卓知识产权代理有限公司
代理人：刘颖棋
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