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专利名称：孔径和厚度可调的超薄双通二氧化钛纳米孔阵列薄
膜的制备方法
专利类型：发明专利
发明人：高旭东,费广涛,欧阳浩淼,易海丽,李阿蕾申请号：CN201310596186.7申请日：20131121公开号：CN1036683A公开日：20140326
摘要：本发明公开了一种孔径和厚度可调的超薄双通二氧化钛纳米孔阵列薄膜的制备方法，该方法采用四步电化学阳极氧化法可制得完整的、大面积的超薄双通二氧化钛纳米孔薄膜，然后通过氧化时间，氢氟酸的扩孔时间，可以实现对薄膜厚度和孔径的。本发明采用两次预氧化，有效避免了表面分叉孔的形成，保证制备的纳米孔薄膜的孔道是直的，且制备方法简单，成本低廉。
申请人：中国科学院合肥物质科学研究院
地址：230031 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号
国籍：CN
代理机构：安徽合肥华信知识产权代理有限公司
代理人：余成俊
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