专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：样品定位装置专利类型：实用新型专利发明人：王娜,丁佳妮,李刚,何俊明申请号：CN201020506220.9申请日：20100826公开号：CN201796016U公开日：20110413
摘要：本实用新型的样品定位装置用于将样品固定在机台底座上，包括托盘和多个限位部件；所述托盘设置在所述机台底座上；所述多个限位部件设置在所述托盘上，用于将所述样品限位于所述托盘上。本实用新型的样品定位装置可防止样品移动。
申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址：201203 上海市浦东新区上海市张江路18号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
更多信息请下载全文后查看
