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专利名称:一种芯片磨片机专利类型:发明专利发明人:凌丹璐
申请号:CN202011133848.3申请日:20201021公开号:CN112223046A公开日:20210115
摘要:一种芯片磨片机,属芯片制造技术领域,包括底座、驱动部和磨削部,驱动部安装在底座上,磨削部也安装在底座上,驱动部将硅片向前递送,磨削部在硅片的运动过程中完成条带式磨削。底座包括台面、立柱、龙门架和滑槽,台面上具有两对立柱,立柱上具有高低配置的两个圆孔,立柱上的圆孔安装驱动部,两对立柱的内侧具有两个龙门架,龙门架上安装磨削部,龙门架两侧均具有滑槽。驱动部包括主动带轮、支撑带轮、主动皮带、从动带轮、从动皮带和皮带电机,主动带轮和支撑带轮分别安装在一对立柱的低位圆孔内,主动带轮和支撑带轮之间架设主动皮带,从动带轮具有一对,一对从动带轮安装在一对立柱的高位圆孔内。
申请人:江西世星科技有限公司
地址:344100 江西省抚州市临川区科技园路666号
国籍:CN
代理机构:南昌佳诚专利事务所
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