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专利名称：一种真空镀膜设备用冷却机构专利类型：实用新型专利发明人：王静
申请号：CN202020662793.4申请日：20200427公开号：CN212152425U公开日：20201215
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜设备用冷却机构，包括外壳体、内壳体和出水管，所述外壳体与内壳体之间形成有空隙，外壳体下方固定有底座，外壳体上设置有出风口和进风口，外壳体侧面连接有支撑架，且支撑架上安装有风机，所述内壳体内侧设置有真空镀膜腔，内壳体内部安装有上侧进水管、第一水管、下侧进水管、第二水管和第三水管，所述上侧进水管与第一水管相连通，第一水管通过两通阀与第三水管相连，第三水管通过三通阀与第二水管和出水管连接在一起。该真空镀膜设备用冷却机构，结构设置合理，通过设置内外壳体，将冷却水管嵌入内壳体中，提高冷却效果，在外壳体上设置内小外大的进风口和风机，利用节流膨胀原理，增强风冷效果。
申请人：深圳市山禾乐科技开发有限公司
地址：518000 广东省深圳市龙华新区观澜街道凹背社区大富工业区11号鹏龙蟠高科技园C栋三楼南
国籍：CN
代理机构：深圳市远航专利商标事务所(普通合伙)
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