专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种化学气相沉积机台的压缩干燥空气压力监控装
置
专利类型：实用新型专利发明人：张欣,刘玮,祝家伟申请号：CN201721516339.2申请日：20171114公开号：CN207483847U公开日：20180612
摘要：本实用新型提供了一种化学气相沉积机台的压缩干燥空气压力监控装置，包括化学气相沉积机台、化学气相沉积机台上的气压传感器一、与所述气压传感器一气体管道连接的压缩干燥空气供应口，还包括气压传感器二和所述气体管道上的三通接头；所述三通接头连接压缩干燥空气供应口、气压传感器一、气压传感器二。本实用新型对机台本身进行改造加装压缩干燥空气压力上限监控装置，使其能提前预知并卡紧压缩干燥空气供应压力监控范围。
申请人：上海华力微电子有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
国籍：CN
代理机构：上海申新律师事务所
代理人：俞涤炯
更多信息请下载全文后查看
