一种显影机的喷淋显影系统

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN201220015127.7 （22）申请日 2012.01.13

（71）申请人 昆山允升吉光电科技有限公司

地址 215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号

（10）申请公布号 CN202433672U

（43）申请公布日 2012.09.12

（72）发明人 魏志凌;高小平;潘世弥 （74）专利代理机构

代理人

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种显影机的喷淋显影系统

（57）摘要

本实用新型公开一种显影机的喷淋显

影系统，为单面显影方式，包括有喷管，其中所述喷管为形状较为规则的蛇形状，其排布方向与显影对象的运动方向一致，喷管的喷嘴方向朝上，显影液喷淋方向由下向上。本实用新型显影机的喷淋显影系统可以有效的解决传统显影过程中出现的水池效应，同时特殊的喷管结构可以尽量减少整个喷淋体系中各部位喷淋差异，即溶液喷淋均匀，可以避免局部显影不均的情况。 法律状态

法律状态公告日

2012-09-12 2012-09-12 2019-09-06

授权 授权

法律状态信息

授权 授权

法律状态

专利权的保全及其解除 专利权的保全及其解除

权利要求说明书

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说明书

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