蓝宝石衬底

浙江水晶光电科技股份有限公司 产品说明：

蓝宝石由氧化铝（AI1203）六方结构单晶组成，具有机械强度高，器件稳定，透光率好，低介电损耗、优良表面光洁度等优点，是发光二极管和激光二极管的理想材料。 产品应用

半导体发光器件（LED, LD） 主要技术指标 No. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16

Item 材料 晶向 主定位边 外径 厚度 平边长度 TTV BOW WARP LTV (5UM*5UM) 正面粗糙度 反面粗糙度

倒边 激光打标 表面质量 包装

2inch 蓝宝石

4inch 蓝宝石

> 99.99% single crystal AI1203 C-axis 【0001】 tiled M-axis 0.2±0.1°

A-Axis 【11-20】 ±0.25°

50.80±0.1mm 430±10um 16±1mm ≤7um －5-0um ≤10um

≤1.5um ≤0.25um Ra=0.8 － 1.2um R-type / T-type Frontside / Backside

Free of foreign materials, crack, sawmark, chippings Vacuum packed cassette of 25 pieces in a clean room

100±0.25mm 650±15um 31±1mm ≤15um －15-0um ≤20um

图形化衬底

产品说明：

图形化衬底技术（Pattemed Sapphire Substrate),简称“PSS”通过在蓝宝石LED衬底表面制作具有细微结构的图形，然后再在图形化衬底表面进行LED材料外延。蓝宝石LED衬底经过PPS加工后，会改善蓝宝石LED衬底的缺陷，由外延芯片封装出来的LED最终能有效提高光提取效率。

产品应用

氮化镓（GaN）基发光二极管 主要技术指标 No. 1 2 3 4 5 6 7 8 9

Item 材料 晶向 主定位边 外径 厚度 平边长度 TTV BOW WARP

2inch 蓝宝石

> 99.99% single crystal AI1203 C-axis 【0001】 tiled M-axis 0.2±0.1°

A-Axis 【11-20】 ±0.25°

50.80±0.25um 430±10um 16±1mm ≤7um －5-0um ≤10um 2.4±0.2um 3.0±0.2um 1.5±0.2um R-type / T-type Frontside / Backside

Free of foreign materials, crack, sawmark, chippings Vacuum packed cassette of 25 pieces in a clean room

10 Pattern Bottom Diameter 11 12 13 14 15 16

Pattern Pitch Pattern Height

倒边 激光打标 表面质量 包装