洁净区（室）悬浮粒子检查记录
房间名称 房间级别 测量日期 仪器编号/型号 标准/接受标准 房间编号/点 结果判定 填表人/日期 ≥0.5um 5.0 um 平均值 UCL值 个/m 3房间编号 测量状态 报告日期 有效期至 ≥5.0 um □静态□动态 个/m3 0.5 um 平均值 复核人/日期 UCL值 制定人： 日期： 审核人： 日期： 批准人： 日期：
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