对从固体升华的蒸气流的控制

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN200480037062.4 （22）申请日 2004.12.09 （71）申请人 山米奎普公司

地址 美国马萨诸塞州

（10）申请公布号 CN19620A （43）申请公布日 2007.05.16

（72）发明人 托马斯·N·霍尔斯基;罗伯特·W·米尔加特三世 （74）专利代理机构 北京律盟知识产权代理有限责任公司

代理人 王允方

（51）Int.CI

A01G13/06; C23C16/00; C23C16/52;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

对从固体升华的蒸气流的控制

（57）摘要

一种用于向一真空室输送一稳定的升华蒸

气流的蒸气输送系统，其包括一固体材料气化器、一机械节流阀及一压力表、随后是一通往所述真空室的蒸气导管。所述蒸气流速取决于所述气化器的温度及位于所述气化器与所述真空室之间的机械节流阀的流导的设定值二者。所述气化

器的温度取决于根据一设定点温度进行的闭环控制。所述机械节流阀受到电控制，例如阀门位置受到根据所述压力表的输出进行的闭环控制。通过此种方式，所述蒸气流速可大体与压力表输出成正比。所有暴露至自所述气化器至所述真空室的蒸气的表面均受到加热来防止冷凝。图中显示一闸阀及一旋转的蝶阀用作上游节流阀。在使用一固定的固体材料充填量时，可使所述气化器的温度在一很长的时间段内保持稳定，在所述时间段内，随着所述充填量的升华，所述节流阀从其工作范围中的一较低的流导缓慢开启。当达到一更大的阀门排放量时，升高温度，以使所述阀门重新调节至其较低的流导设定值，以使其可重新随着所述充填量的进一步消耗而缓慢开启。

法律状态

法律状态公告日

法律状态信息

2007-05-16 公开

2007-07-11 实质审查的生效 2010-07-21 授权 2016-01-27

专利权的终止

法律状态

公开

实质审查的生效 授权 专利权的终止

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说明书

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