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专利名称：极紫外线微影方法专利类型：发明专利
发明人：苏彦硕,叶人豪,叶展宏,郑定亚,童宇轩,张俊霖,张汉
龙,陈立锐,郑博中
申请号：CN201911038537.6申请日：20191029公开号：CN111103766A公开日：20200505
摘要：本揭露是关于一种极紫外线微影方法。一种用于监控极紫外线光源中的冲击波的方法包括在极紫外线微影工具的极紫外线光源设备中用离子化辐射照射液滴，以产生电浆及侦测由电浆产生的冲击波。基于所侦测到的冲击波来调节极紫外线光源的一或多个操作参数。
申请人：积体电路制造股份有限公司
地址：中国新竹市新竹科学工业园区力行六路八号
国籍：CN
代理机构：北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人：徐金国
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