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专利名称：脉冲光束的光谱特征量测专利类型：发明专利发明人：J·J·索内斯
申请号：CN202011072270.5申请日：20160512公开号：CN112179493A公开日：20210105
摘要：本公开的实施例涉及脉冲光束的光谱特征量测。一种量测系统，包括：光学频率分离装置，其处于脉冲光束的路径中并且被配置为与脉冲光束相互作用并且输出对应于脉冲光束的光谱分量的多个空间分量；接收并感测输出空间分量的多个感测区域；以及连接到每个感测区域的输出的控制系统。控制系统被配置为：针对每个感测区域的输出，测量来自光学频率分离装置针对一个或多个脉冲的所输出的空间分量的属性；分析所测量的属性，包括对所测量的属性进行平均来计算脉冲光束的光谱特征的估计；以及确定脉冲光束的估计光谱特征是否在光谱特征值的可接受范围内。
申请人：西默有限公司
地址：美国加利福尼亚州
国籍：US
代理机构：北京市金杜律师事务所
代理人：李兴斌
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