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专利名称：一种应用于快速扫描原子力显微镜的探针自减振方
法
专利类型：发明专利
发明人：陈代谢,殷伯华,韩立,刘俊标,林云生,初明璋申请号：CN201410398614.X申请日：20140813公开号：CN104155478A公开日：20141119
摘要：一种应用于快速扫描原子力显微镜的探针自减振方法，所述的方法利用干法刻蚀法在原子力显微镜的探针背面加工ZnO薄膜，利用ZnO薄膜的逆压电效应，通过控制ZnO薄膜产生应力，为探针引入可调节外部阻尼，调整探针弹性系数，并提高探针的第一振荡频率，使探针能应用于快速扫描原子力显微镜，消除探针快速扫描过程中的自激振荡。
申请人：中国科学院电工研究所
地址：100190 北京市海淀区中关村北二条6号
国籍：CN
代理机构：北京科迪生专利代理有限责任公司
代理人：关玲
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